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Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.25 No.6
발행연도
2008.6
수록면
134 - 142 (9page)

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이 논문의 연구 히스토리 (12)

2016

초정밀 Hybrid 가공기용 능동 자기예압 공기베어링 이송계의 운동오차 능동보정
노승국 ,  윤종원 ,  박종권 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2016.04 학술대회자료

2015

능동보정형 공기베어링 이송계를 이용한 마이크로 하이브리드 가공기 설계
노승국 ,  김경호 ,  박종권 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2015.04 학술대회자료

2014

능동보정형 공기베어링 스테이지의 5자유도 운동오차 동시 보정 특성
노승국 ,  윤종원 ,  박종권 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2014.04 학술대회자료

2013

능동 자기예압 공기베어링 스테이지의 진동감쇠 제어
노승국 ,  김수현 ,  곽윤근 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2013.12 학술저널
5자유도 능동보정형 공기베어링 스테이지의 운동오차 측정 및 보정
노승국 ,  이병기 ,  박종권 외 1명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2013.10 학술대회자료
초정밀 능동 자기예압 공기베어링 기술
노승국 ,  김경호 ,  이병기 외 1명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2013.08 학술대회자료

2012

5자유도 능동보정형 공기베어링 스테이지 설계
노승국 ,  김경호 ,  박종권 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2012.04 학술대회자료

2010

운동오차 능동보정형 자기예압 공기베어링 스테이지 특성 해석
노승국 ,  박종권 ,  김수현 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2010.04 학술대회자료

2009

자기예압을 이용한 공기베어링 스테이지의 능동 진동 감쇄
노승국 ,  김수현 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2009.10 학술대회자료
자기예압 공기베어링 스테이지의 3 자유도 운동오차 측정 및 능동 보정
노승국 ,  김수현 ,  곽윤근 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2009.02 학술저널

2008

초정밀 직선 이송계용 능동 자기예압 공기베어링에 관한 연구
노승국 ,  김수현 ,  곽윤근 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2008.06 학술저널

2006

초정밀 스테이지를 위한 능동형 자기예압 공기베어링에 관한 연구
노승국 ,  박천홍 ,  김수현 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2006.05 학술대회자료

초록· 키워드

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In this paper, we propose a precise linear motion stage supported by magnetically preloaded air bearings. The eight aero static bearings with rectangular carbon porous pads were located only one side of vertical direction under the platen where four bearings are in both sides of horizontal direction as wrap-around-design, and this gives simpler configuration than which constrained by air bearings for all direction. Each of the magnetic actuators has a permanent magnet generating static magnetic flux for required preload and a coil to perturb the magnetic force resulting adjustment of air￢bearing clearance. The characteristics of porous aero static bearing are analyzed by numerical analysis, and analytic magnetic circuit model is driven for magnetic actuator to calculate preload and variation of force due to current. A l-axis linear stage motorized with a core less linear motor and a linear encoder was designed and built to verify this design concept. The load capacity, stiffness and preload force were examined and compared with analysis. With the active magnetic preloading actuators controlled with DSP board and PWM power amplifiers, the active on-line adjusting tests about the vertical, pitching and rolling motion were performed. It was shown that motion control for three DOF motions were linear and independent after calibration of the control gains.
#Porous Air Bearing(다공질 공기베어링) #Magnetic Preload(자기예압) #Active Air bearing(능동 공기 베어링) #Magnetic Force(자기력) #Ultra-precision Stage(초정밀 스테이지) #Linearization Calibration(선형화 보정)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 능동자기예압 공기베어링 스테이지 설계
3. 능동자기예압 공기베어링 스테이지의 실험적 연구
4. 결론
참고문헌
부록

참고문헌 (10)

참고문헌 신청
노승국 , 2007 , 영구자석 이동형 선형 모터를 가진 초소형 공기베어링 스테이지 , 한국정밀공학회지 24 (8) : 89 ~ 96 google schola Slocum, A. , 2003 , Linear Motion Carriage with Aerostatic Bearings Preloaded Inclined Iron Core Linear Electric Motor , Precision Engineering 27 (4) : 382 ~ 394 google schola Watanabe, I. , 1988 , An Active Air Bearing – Ultra-precision Control of Floating Position and Vibration , Journal of JSPE 54 (2) : 329 ~ 334 google schola Mizumoto, H. , 1991 , An Infinite Stiffness Aerostatic Bearing with an Exhaust Control Restrictor , Journal of JSPE 57 (11) : 164 ~ 169 google schola Lee, S. Q. , 2000 , A new 3-DEF Z-tilts micro positioning System Using Electromagnetic Actuators and Air Bearings , Precision Engineering 24 (1) : 24 ~ 31 google schola

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