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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2005 추계학술대회 논문집
발행연도
2005.10
수록면
431 - 436 (6page)

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This paper demonstrates the vision/inspection system mounted in micro-factory system. To insure the topographical data of micro parts produced by micro-factory system, it is necessary to scan precisely with miniatured CMM (Coordinate Measuring Machine) system. Miniaturized CMM essentially consists of metrology frame, nano stage for x, y, z movement, nano probe for scanning and scratching, and inchworm actuator for operating nano stage. Nano stage with piezo-actuated inchworm system enables micro parts to travel wide range in nanometer range.
#Micro-factory(마이크로 팩토리) #Nano probe(나노 프로브) #Inchworm(인치웜) #Piezo(피에조)

목차

Abstract
1. 서론
2. 나노 프로브의 설계 및 제작
3. 나노 프로브의 가공 특성 평가
4. 나노 프로브의 측정 특성 평가
5. 인치웜 액츄에이터 개발
6. 결론
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