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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2005 춘계학술대회 논문집
발행연도
2005.5
수록면
9 - 14 (6page)

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The nature of the signals collected by an SEM(Scanning Electron Microscope) in order to form images are all dependent on the detector used to collect them, and the quality of an acquired image is strongly influenced by detector performance. Therefore, the development of detector with high performance is very important in pulling up the resolution of SEM This study presents the secondary electron detector for use in scanning electron microscope, electric circuit and I/V conversion circuit for driving that detector.
#Electron Detector(전자검출기) #Scanning Electron Microscope(주사전자현미경) #Secondary Electron(이차전자) #Photomultiplier tube(광증배관) #Secondary Electron Detector(이차전자검출기)

목차

Abstract
1. 서론
2. 시료와 전자빔간의 상호작용
3. 전자 검출기의 설계 및 제작
4. 전자 검출기의 성능실험
5. 결론
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