주사전자현미경용 전자검출기의 설계 및 제작

전종업; 김지원

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자료유형: 학술저널

저자정보: 전종업 김지원

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.25 No.4

발행연도: 2008.4

수록면: 53 - 60 (8page)

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Electron detectors used in scanning electron microscope accept electrons emitted from the specimen and convert them to an electrical signal that, after amplification, is used to modulate the gray-level intensities on a cathode ray tube, producing an image of the specimen. Electron detector is one of the key components dominating the performance of scanning electron microscope so that the development of electron detectors having high performance is indispensable to acquire high quality images using scanning electron microscope. In this paper, we designed and manufactured an electron detector and conducted a couple of image capture experiments using it. In particular, scintillator which generates light photons when it is struck by high-energy electrons was manufactured and experimental studies on the optimization of manufacturing condition was carried out. From experiments to evaluate the performance of our detector, it was verified that the performance of our detector is equivalent to or better than that of the conventional one.

#Scanning electron microscope(주사전자현미경) #Electron detector(전자검출기) #Secondary electron(이차전자) #Back scattered electron(반사전자) #Scintillator(신틸레이터) #Photomultiplier tube(광전자증배관)

참고문헌 (5)

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Oh, H. J. / 2005 / The Development of Scanning Electron Microscopy / Proc.KSMTE Spring Conf :15~18

Park, M. J. / 2007 / Design and Control of Mini-Scanning Electron Microscope / Proc.KSME Spring Ann.Meeting :1271~1276

Park, K. / 2007 / A Study on Design and Analysis for Magnetic Lenses of a Scanning Electron Microscope using Finite Element Method / J.of the KSPE 24(9):95~102

Lee, R. E. / 1993 / Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis / Prentice-Hall :119~148

Knoll, G. F. / 2000 / Radiation Detection and Measurement / John Wiley & Sons :219~305

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