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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2006년도 추계학술대회 논문요약집
발행연도
2006.10
수록면
509 - 510 (2page)

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#Scanning electron microscope #Electron detector #Secondary electron #Detection rate

목차

1. 서론
2. 이차전자의 거동해석
3. 검출율 시뮬레이션 및 결과
4. 결론
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