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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2007 추계학술대회 논문집
발행연도
2007.10
수록면
24 - 28 (5page)

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The laser-interferometer and capacitive displacement sensors were used to increase the resolution of the feedback system for stage used for measuring and processing the system. However, it was difficult to obtain high-resolution measurements, considering the measuring method and structural characteristics. This type of system was installed separately from the stage. It was also difficult to apply the system to the stage. This study developed a combined magnification type stage to evaluate characteristics. As a result, it was possible to fabricate a stage with an magnification ratio of approximately 10,000, and the smallest measurable resolution was found to be at 0.7㎚.
#Nano-stage #PSD #Lever mechanism #Magnified mechanism

목차

Abstract
1. 서론
2. 변위증폭형 측정원리
3. PSM 메카니즘을 이용한 나노스테이지 설계 및 제작
4. 복합증폭형 나노스테이지의 특성평가
5. 결론
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