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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2008 추계학술대회 논문집
발행연도
2008.10
수록면
61 - 65 (5page)

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The laser-interferometer and capacitive displacement sensors were used to increase the resolution of the feedback system for stage used for measuring and processing the system. However, it was difficult to obtain high-resolution measurements, considering the measuring method and structural characteristics. This study developed a inverse magnification type stage to evaluate characteristics. Therefore, we introduced a nano-stage with a magnification mechanism for the position feedback system.
#Nano-stage #magnified mechanism #inverse magnified mechanism

목차

Abstract
1. 서론
2. 역 증폭 원리
3. 역 증폭원리가 적용된 스테이지의 최적설계
4. 변수의 변화에 따른 스테이지 거동 특성
5. 힌지 형태 및 두께에 따른 스테이지 거동 특성
6. 결론
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