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논문 기본 정보

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한국전자파학회 한국전자파학회논문지 韓國電磁波學會論文誌 第19卷 第2號
발행연도
2008.2
수록면
257 - 262 (6page)

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본 논문에서는 열전도도가 우수한 AlN 기판에 CO₂ Laser 장비를 이용하여 Thru-hole과 scribing line을 형성하기 위해 CO₂ laser의 파라미터(촛점 거리, 공기량, 레이저 빔 시간, 펄스 개수)를 실험하고, 자체 정렬 마스킹 기법을 이용한 5 ㎛ 두께의 Cu 도금으로 AlN 기판에 전송 선로와 나선형 평면 인덕터를 제작하였다. AlN 기판에서의 마이크로스트립 라인의 전송 손실은 10 ㎓에서 0.1 ㏈/㎜, 6 nH 나선형 평면 인덕터는 1 ㎓에서 56의 품질 계수를 얻었고, 이를 통해 열전도도가 우수한 AlN 기판의 고전력 RF 응용이 가능할 것으로 기대한다.
#AlN Substrate #Microstrip Line #Spiral Planar Inductor

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. CO₂ Laser 장비를 이용한 AlN 기판 가공
Ⅲ. AlN 기판에서의 수동 소자 특성
Ⅳ. 결론
참고문헌

참고문헌 (4)

참고문헌 신청
1. [학술대회논문] - T. Ruemenapp / 2000 / Investigation of the ageing performance of AlN-ceramic used in high-power-semiconductors / IEE Conf. Dielectric Materials : 285 ~ 290 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - F. Miyashiro / 1990 / High thermal conductivity aluminum nitride ceramic substrates and packages / IEEE Trans. Components Hybrids and Manufacturing Technology 13 (2) : 313 ~ 319 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - N. Karamitsos / 1995 / Performance and analysis of an aluminium nitride isolation resistor / IEE Proceedings. Microwave Antennas and Propagation 142 (3) : 282 ~ 284 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - 정위신 / 2007 / RF 집적회로를 위한 0.18 μm CMOS 표준 디지털 공정 기반 인덕터 라이브러리 / 한국전자파학회 논문지 18 (5) : 530 ~ 538 dbpia

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