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이용수
1. 서론
2. 자기 렌즈의 자계(magnetic field)
3. 자계에서의 전자빔 거동
4. 고찰
5. 결론
후기
참고문헌
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전자빔 리소그래피용 칼럼 렌즈의 자계 분석 시스템 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2008 .06
유한요소법을 사용한 주사전자 현미경의 전자렌즈 설계 및 해석에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2007 .09
전자빔 가공기용 자기 렌즈의 자기장 제어구조 설계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .10
주사전자 현미경의 전자렌즈 설계 및 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2006 .11
고밀도 전자빔 Finishing 장비의 전자빔 집속 시스템 설계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .10
Focal length를 이용한 전자 렌즈 제어를 위한 하드웨어 설계
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2007 .05
Monte Carlo 수치해석법을 이용한 저 에너지 초소형 마이크로칼럼에 사용되는 전자렌즈의 모양에 따른 전자빔 특성 연구
한국산학기술학회 논문지
2008 .02
주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성
한국생산제조학회지
2008 .10
고밀도 전자빔 피니싱 공정에 이용되는 전자광학계의 설계 및 해석에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .06
소형 전자빔 칼럼내 전자빔 거동 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2008 .11
전자빔 인출을 위한 2차전자방출 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .10
전자빔을 이용한 중금속이온 (Cr+6) 의 제거
대한환경공학회 학술발표논문집
1999 .04
마이크로 전자빔 시스템을 위한 전자광학렌즈의 제작에 의한 나노 패턴 형성 ( Nano-scale pattern delineation by fabrication of electron-optical lens for micro E-beam system )
전자공학회논문지-D
1998 .09
가속전자와 소재의 상호작용 모델링을 통한 전자빔 피니싱 수치해석의 정밀도 향상
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
고밀도 전자빔 Finishing 장비의 전자빔 집속
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .06
전자빔 피니싱 장비에서 라인 패턴 가공
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .05
( 주 ) 서한전자
CAD 및 VLSI 설계연구회지
1994 .01
주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성을 위한 하드웨어 설계
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2007 .10
전자빔 가공장비용 소형 전자빔칼럼개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .06
Focal length에 의한 전자 렌즈의 제어 신호 생성을 위한 하드웨어 설계
한국생산제조학회지
2007 .10
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