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한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국공작기계학회 논문집 Vol.16 No.5
발행연도
2007.10
수록면
96 - 100 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2007

Focal length에 의한 전자 렌즈의 제어 신호 생성을 위한 하드웨어 설계
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회지 2007.10 학술저널
Focal length를 이용한 전자 렌즈 제어를 위한 하드웨어 설계
임선종 ,  이찬홍 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2007.05 학술대회자료

초록· 키워드

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Condenser lens and objective lens are used to demagnify the image of the crossover to the final spot size. In lens, electrons are focused by magnetic fields. This fields is fringing field. It is important in electron focusing. Electron focusing occurs the radial component field and axial component field. Radial component produces rotational force and axial component produces radial force. Radial force causes the electron’s trajectory to curve toward the optic axis and corss it. Focal length decreases as the current of lens increases. In this paper, we use the focal length for desiging the hardware of lens current control and present the results.
#전자빔(Electron beam) #전자 현미경(Scanning electron microscope) #전자 렌즈(Electron optic) #집속 렌즈(Condenser lens) #대물 렌즈(Objective lens) #Focal distance #전자 렌즈 제어(Electron lens control) #프링징 자장(Fringing field) #반배율(Demagnification) #배율(Magnification)

목차

Abstract
1. 서론
2. 렌즈 시스템 구성과 분석
3. 렌즈 제어 신호를 위한 하드웨어 사양 설계
4. 결과
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (5)

참고문헌 신청
1. [단행본] - Joseph, I. / 1992 / Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis / PLENUM PRESS : 43 ~ 57 google schola 2. [단행본] - John, T, L. / 1993 / ELECTRON BEAM TESTING TECHNOLOGY / Plenum Press : 129 ~ 147 google schola 3. [학술대회논문] - Lim, S. J. / 2006 / Design of Control Signal Systemization for SEM / KSMTE autumn conference : 97 ~ 100 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - 임선종 / 2007 / 전자빔 가공기에 대한 에이전트 응용 / 한국생산제조시스템학회지 16 (2) : 44 ~ 49 dbpia 5. [학술지(정기간행물)] - 임선종 / 2006 / 전자빔 가공기의 지능형 원격 빔 조절 기능의 개발 / 한국생산제조시스템학회지 15 (2) : 24 ~ 29 dbpia

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