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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2008.4
- 수록면
- 7 - 12 (6page)
이용수
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본 논문에서는 comb drive를 이용하여 수평 방향 저항 접촉 방식의 RF MEMS 스위치 개발을 소개한다. 무선통신 트랜시버에서 사용되는 FEM에서 사용될 수 있는 높은 안전성과 좋은 RF 특성을 가지는 스위치의 개발을 목표로 한다. 따라서 작은 삽입손실 특성을 가지기 위해 comb drive를 이용하여 큰 접촉 힘을 발생시키고, 큰 격리도 특성을 가지기 위해 스위치 off 상태에서 작은 정전용량을 갖도록 한다. 그리고 단결정 실리콘을 스위치의 구조물로 사용함으로써 기계적인 안전성을 갖도록 한다. 개발된 RF MEMS 스위치는 26 V의 동작 전압을 가지며, 2 ㎓에서 0.44 ㏈ 이하의 삽입손실과 60 ㏈ 이상의 격리도 특성을 가진다.
목차
요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 디자인 및 공정
Ⅲ. 측정 결과 및 분석
Ⅳ. 결론
참고문헌
저자소개
참고문헌 (10)
참고문헌 신청
1. [학술대회논문] - L. E. Larson / 1991 / Micromachined microwave actuator (MIMAC) technology-a new tuning approach for microwave integrated circuits / IEEE Microwave and Millimeter-Wave Monolithic Circuits Symposium Digest : 27 ~ 30
2. [학술지(정기간행물)] - Hector J. De Los Santos / 2004 / RF MEMS for Ubiquitous Wireless Connectivity / IEEE Microwave Magzine 4 (5) : 36 ~ 49
3. [학술지(정기간행물)] - Gabriel M. Rebeiz / 2001 / RF MEMS Switches and Switch Circuits / IEEE Mircrowave Magazine 2 (4) : 59 ~ 71
4. [학술지(정기간행물)] - Linda P. B. Katehi / 2002 / MEMS and Si Micromachined Circuits for High-Frequency Applications / IEEE Transaction on Microwave Theory and Techniques 50 (3) : 858 ~ 866
5. [학술지(정기간행물)] - Guan-Leng Tan / 2002 / A DC-Contact MEMS Shunt Switch / IEEE Microwave and Wireless Component Letters 12 (6) : 212 ~ 214
2. [학술지(정기간행물)] - Hector J. De Los Santos / 2004 / RF MEMS for Ubiquitous Wireless Connectivity / IEEE Microwave Magzine 4 (5) : 36 ~ 49
3. [학술지(정기간행물)] - Gabriel M. Rebeiz / 2001 / RF MEMS Switches and Switch Circuits / IEEE Mircrowave Magazine 2 (4) : 59 ~ 71
4. [학술지(정기간행물)] - Linda P. B. Katehi / 2002 / MEMS and Si Micromachined Circuits for High-Frequency Applications / IEEE Transaction on Microwave Theory and Techniques 50 (3) : 858 ~ 866
5. [학술지(정기간행물)] - Guan-Leng Tan / 2002 / A DC-Contact MEMS Shunt Switch / IEEE Microwave and Wireless Component Letters 12 (6) : 212 ~ 214
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