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한국조명·전기설비학회 조명·전기설비학회논문지 조명·전기설비학회논문지 제22권 제4호
발행연도
2008.4
수록면
107 - 113 (7page)

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본 실험은 구동 온도와 방전관의 길이에 따라 변화하는 ICP 광원의 전기ㆍ광학적 특성에 대해서 알아보았다. 광원의 전기ㆍ광학적 특성이 정상상태에 놓이는 구동 조건을 확인하기 위하여 시간에 따른 전력 소모와 광속의 변화를 측정하였다. 전력소모와 광속의 시간에 따른 변화를 측정한 결과를 통해서 볼 때 최초구동에서 70분이 경과한 이후부터 전력소모는 초기값에 대해 1.45[%] 광속은 0.36[%]의 안정성을 나타냈다. 항온챔버 내에서 온도를 5구간으로 나뉘어 변화하면서 구동 온도에 따른 ICP 광원의 광학적 특성을 알아보았다. 휘도는 온도의 상승과 비례적으로 증가하였으나 46.7[℃] 이상에서는 오히려 감소하는 결과를 얻을 수 있었다. 파센법칙과 함께 보일-샤를의 법칙을 통해 0.02[Torr]의 압력이 변화함에 따라 더 높은 방전전압이 요구되지만 충분한 전압이 안정기에서 공급되지 못하기 때문이라 판단된다. 이와 더불어 방전관 길이에 따라 광원에 인가되는 전력과 전류을 측정하였다.
#Inductively Coupled Plasma #Thermal Dependency #Rating Power #Aging Time #Electro-Optical Stability

목차

요약
Abstract
1. 서론
2. 실험 및 측정
3. 결과 및 토의
4. 결과
감사의 글
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