ICP 제논 램프의 가스 압력과 공급 전력에 따른 광학적 특성연구

최기승 ,  이성진 ,  이종찬 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

제논(Xe) 가스를 사용한 평판형 광원에서의 전기 및 광학적 특성 연구

백광현 ,  양종경 ,  이종찬 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .07

ICP system에서 공정가스와 압력에 따른 z축 방향의 이온포화 전류밀도 변화 분석

김동훈 ,  주정훈 ,  김성봉

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

SiO₂ 식각 특성 개선을 위한 E-ICP와 ICP 식각 비교

정재성 ,  김진우 ,  라상호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1999 .11

제논 유전체 장벽 방전형 램프의 성능 개선에 관한 연구

박지수 ,  송명훈 ,  장상진

한국조명·전기설비학회 학술대회논문집

2007 .11

ICP 알고리즘의 회전 오차민감도 ( Error sensitivity of rotation angle in ICP algorithm )

김철민 ,  이병욱 ,  박래홍

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

ICP 광원 시스템의 Ne:Xe Ne:Ar 혼합가스의 전자온도 및 전자밀도의 특성 연구

최기승 ,  이종찬 ,  최용성 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .07

E-ICP와 ICP를 이용한 MIS(Mo/HfO₂/Si) Capacitor의 Plasma Etching Damage 연구

유한석 ,  양승국 ,  김한형 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

E-ICP와 ICP를 이용한 MIS(Mo/HfO₂/Si) Capacitor의 Plasma Etching Damage 연구

유한석 ,  양승국 ,  김한형 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

Enhanced-Inductively Coupled Plasma (E-ICP)를 이용한 Silylated photoresist 식각공정개발

박세근 ,  이종근 ,  조수범 외 3명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

무수은 제논 EEFL의 전기적 특성

이성진 ,  김남군 ,  이종찬 외 2명

전기전자재료학회논문지

2007 .01

Effects of the Xe content on the electro-optical properties in the mercury-free Flat Fluorescent Lamp

Chung ,  Kyu-Yong ,  Lee 외 5명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2007 .01

ICP with Scaling for Distal Femur Landmark Estimation

Phan Cong-Bo ,  Seungbum Koo

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .10

ICP 광원 시스템의 Ne:Xe 및 Ne:Ar 혼합가스의 전자온도의 전자밀도 특성

崔起承 ,  李鐘餐 ,  崔龍成 외 1명

전기학회논문지 C

2006 .03

ICP 알고리즘을 이용한 2 차원 격자지도 작성

이동주 ,  윤열민 ,  황요섭 외 1명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2014 .05

EFFECT OF NEUTRAL GAS FLOW ON THE PLASMA STATE IN ICP PROCESS,

Chung ,  W.Y. ,  Kim 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

ICP-MS 분석에 의한 공단내 중금속의 농도

이진홍 ,  류영태 ,  남병현

대한환경공학회 학술발표논문집

1997 .12

C₄F₈/O₂ 공정기체와 E-ICP를 이용한 산화막 식각

송호영 ,  조수범 ,  이종근 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2001 .06

플라즈마 방전 시뮬레이션에 의한 CF₃I-Xe 혼합 가스에서의 물성 특성 연구

심응원 ,  도안뚜안 ,  전병훈

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .07

방사성제논 탐지를 위한 베타-감마 동시 계측시스템의 측정시간 최적화

변종인 ,  박홍모 ,  최희열 외 2명

방사선방어학회지

2015 .01