메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.26 No.2
발행연도
2009.2
수록면
109 - 117 (9page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (12)

2016

초정밀 Hybrid 가공기용 능동 자기예압 공기베어링 이송계의 운동오차 능동보정
노승국 ,  윤종원 ,  박종권 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2016.04 학술대회자료

2015

능동보정형 공기베어링 이송계를 이용한 마이크로 하이브리드 가공기 설계
노승국 ,  김경호 ,  박종권 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2015.04 학술대회자료

2014

능동보정형 공기베어링 스테이지의 5자유도 운동오차 동시 보정 특성
노승국 ,  윤종원 ,  박종권 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2014.04 학술대회자료

2013

능동 자기예압 공기베어링 스테이지의 진동감쇠 제어
노승국 ,  김수현 ,  곽윤근 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2013.12 학술저널
5자유도 능동보정형 공기베어링 스테이지의 운동오차 측정 및 보정
노승국 ,  이병기 ,  박종권 외 1명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2013.10 학술대회자료
초정밀 능동 자기예압 공기베어링 기술
노승국 ,  김경호 ,  이병기 외 1명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2013.08 학술대회자료

2012

5자유도 능동보정형 공기베어링 스테이지 설계
노승국 ,  김경호 ,  박종권 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2012.04 학술대회자료

2010

운동오차 능동보정형 자기예압 공기베어링 스테이지 특성 해석
노승국 ,  박종권 ,  김수현 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2010.04 학술대회자료

2009

자기예압을 이용한 공기베어링 스테이지의 능동 진동 감쇄
노승국 ,  김수현 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2009.10 학술대회자료
자기예압 공기베어링 스테이지의 3 자유도 운동오차 측정 및 능동 보정
노승국 ,  김수현 ,  곽윤근 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2009.02 학술저널

2008

초정밀 직선 이송계용 능동 자기예압 공기베어링에 관한 연구
노승국 ,  김수현 ,  곽윤근 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2008.06 학술저널

2006

초정밀 스테이지를 위한 능동형 자기예압 공기베어링에 관한 연구
노승국 ,  박천홍 ,  김수현 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2006.05 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
This paper presents a linear air bearing stage with compensated motion errors by active control of preloads generated by magnetic actuators with combination of permanent and electro-magnets. A 1-axis linear stage motorized with a linear motor with 240 mm of travel range is built for verifying this design concept and tested its performances. The three motions of the table are controlled with four magnetic actuators driven by current amplifiers and a DSP based digital controller. Three motion errors were measured combined method with laser interferometer and two-probe method with 0.085 um of repeatability for straightness error. The measured motion errors were modeled as functions of the stage position, and compensation were carried out with feedforward control because the characteristics of the motion control with magnetic actuators are linear and independent for each degree-of-freedoms. As the results, the errors were reduced from 1.09 um to 0.11 um for the vertical motion, from 9.42 sec to 0.18 sec for the pitch motion and from 2.42 sec to 0.18 sec for roll motion.
#Air Bearing Stage(공기베어링 스테이지) #Active Compensation of Motion Errors(운동오차 능동보정) #Magnetic Preload(자기예압) #Combined Two Probe Method(복합 이점법)

목차

1. 서론
2. 능동자기예압 공기베어링 스테이지
3. 운동오차 능동 보정 개요
4. 운동오차의 혼합 측정법
5. 오차 측정 및 보정 실험 결과
6. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

자동차의 소음·진동 개발 방향
박동철 기계저널 2013 .02
테이퍼 롤러 베어링의 예압 특성에 관한 연구
유대원 ,  이재학 대한기계학회 춘추학술대회 2011 .11
Wearable Robot Arm 을 위한 3-Axial Optical Force sensor 의 Mechanism 설계
김동수 ,  Sa ,  mad Shams 외 3명 제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집 2011 .05
Increase TFT LCD Yield by Improvement of Clean Room Airflow
元荣载 ,  李丽 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2011 .07
산업용 크레인에서의 입력성형기법 응용
박상원 ,  홍성욱 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2011 .09

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-555-015740079