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이용수
2016
2013
2009
1. 서론
2. 능동자기예압 공기베어링 스테이지
3. 운동오차 능동 보정 개요
4. 운동오차의 혼합 측정법
5. 오차 측정 및 보정 실험 결과
6. 결론
참고문헌
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5자유도 능동보정형 공기베어링 스테이지의 운동오차 측정 및 보정
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5자유도 능동 자기예압 공기베어링 스테이지의 보정 특성 측정에 관한 연구
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운동오차 능동보정형 자기예압 공기베어링 스테이지 특성 해석
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2013 .10
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2013 .12
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2013 .08
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2011 .03
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2004 .07
Analysis of 5-DOF active magnetic preload of an air bearing feed system
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2016 .10
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2004 .10
자기예압을 이용한 공기베어링 스테이지의 능동 진동 감쇄
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영구자석 이동형 리니어 모터를 이용한 초소형 공기베어링 스테이지
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2006 .05
LM 스테이지의 5자유도 운동오차 예측 및 실험적 검증
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2011 .06
5 자유도 오차 측정 시스템이 내장된 에어베어링 스테이지 개발
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2018 .05
직선운동유니트 정밀도 예측기술
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2014 .05
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