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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제40권 제6호
발행연도
2007.12
수록면
279 - 282 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2007

하이브리드 코팅시스템에 의해 제조된 Cr-Mo-Si-C-N 박막의 미세구조 및 기계적 특성연구
윤지환 ,  안성규 ,  김광호 한국표면공학회지 2007.12 학술저널
하이브리드 코팅시스템을 이용한 Cr-Mo-Si-N 코팅의 합성 및 기계적 특성
윤지환 ,  안성규 ,  이주희 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2007.04 학술대회자료
하이브리드 코팅시스템을 이용한 Cr-Mo-Si-N 코팅의 합성 및 기계적 특성
윤지환 ,  안성규 ,  이주희 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2007.04 학술대회자료

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Cr-Mo-Si-C-N coatings were deposited on steel and Si wafer by a hybrid system of AIP and sputtering techniques using Cr, Mo and Si target in Ar/N₂/CH₄ gaseous mixture. Instrumental analyses of XRD and XPS revealed that the Cr-Mo-Si-C-N coatings must be a composite consisting of fine (Cr, Mo and Si)(C and N) crystallites and amorphous Si₃N₄ and SiC. The hardness value of Cr-Mo-Si-C-N coatings significantly increased from 41 GPa of Cr-Mo-C-N coatings to about 53 GPa with Si content of 9.3 at.% due to the refinement of (Cr, Mo and Si)(C and N) crystallites and the composite microstructure characteristics. A systematic investigation of the microstructures and mechanical properties of Cr-Mo-Si-C-N coatings prepared with various Si contents is reported in this paper.
#Cr-Mo-Si-C-N #Hybrid system #Microstructure #Mechanical properties

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌

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