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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제39권 제6호
발행연도
2006.12
수록면
245 - 249 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2006

새로운 고경도 Ti-Mo-Si-N 코팅막의 합성 및 기계적 특성
전진우 ,  홍승균 ,  김광호 한국표면공학회지 2006.12 학술저널
Hybrid코팅시스템에 의해 증착된 Ti-Cr-Si-N 코팅막의 합성 및 기계특성
전진우 ,  홍승균 ,  김광호 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2006.04 학술대회자료

2005

Hybrid 코팅시스템에 의해 증착된 Ti-Cr-Si-N 코팅막의 합성 및 기계특성
전진우 ,  강동식 ,  김광호 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2005.05 학술대회자료

초록· 키워드

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In this study, ternary Ti-Mo-N and new quaternary Ti-Mo-Si-N coatings were synthesized on steel substrates (AISI D2) and Si wafers by a hybrid coating system of arc ion plating (AIP) using Ti target and d.c. magnetron sputtering technique using Mo and Si targets in N₂/Ar gaseous mixture. Ternary Ti-Mo-N coatings were substitutional solid-solution of (Ti,Mo)N and showed maximum hardness of approximately 30 ㎬ at the Mo content of ~10 at. %. The Ti-Mo-Si-N coating with the Si content of 8.8 at. % was a composite consisting of fine (Ti,Mo)N crystallites and amorphous Si₃N₄ phase. The hardness of the Ti-Mo-Si(8.8 at. %)-N coatings exhibited largely increased hardness value of ~48 ㎬ due to the microstructural evolution to the fine composite microstructure and the refinement of (Ti,Mo)N crystallites. The average friction coefficient of the Ti-Mo-Si-N coatings largely decreased with increase of Si content. The microstructures of Ti-Mo-Si-N coatings were investigated with instrumental analyses of XRD, XPS, and HRTEM in this work.
#Ti-Mo-Si-N #Hybrid coating system #Microstructure #Mechanical properties

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (23)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Wiemer, C / 1996 / Surf. Coat. Technol. / Surf. Coat. Technol. 86 : 372 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Yang, Q / 2006 / Wear / Wear 261 : 119 ~ 125 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Regent, F / 2001 / Surf. Coat. Technol. / Surf. Coat. Technol. 142 : 146 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Sanjines, R / 1996 / Thin Solid Films / Thin Solid Films 290 : 334 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - Diserens, M / 1998 / Surf. Coat. Technol. / Surf. Coat. Technol. 108 : 241 ~ google schola

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