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한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 한국표면공학회 2009년도 춘계학술대회 및 에너지.공학 신표면처리기술 국제 워크숍
발행연도
2009.5
수록면
208 - 210 (3page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2009

Si 함량에 따른 Ti-Al-Si-C-N 코팅막의 미세구조와 기계적 특성의 변화에 관한 연구
홍영수 ,  권세훈 ,  김광호 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2009.05 학술대회자료
Si 함량에 따른 Ti-Al-Si-C-N 코팅막의 미세구조와 기계적 특성의 변화에 관한 연구
홍영수 ,  권세훈 ,  김광호 한국표면공학회지 2009.04 학술저널

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5성분계 Ti-Al-Si-C-N 코팅막은 하이브리드 코팅 시스템을 사용하여 실리콘 (Si) 웨이퍼와 SUS 304 기판 위에 합성되었다. 본 연구에서는 Si 첨가에 의한 Ti-Al-Si-C-N 코팅막의 미세구조와 기계적 특성의 변화를 체계적으로 조사하였 ... 전체 초록 보기

목차

초록
1. 서론
2. 본론
3. 결론
참고문헌

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