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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2008 춘계학술대회 논문집
발행연도
2008.5
수록면
465 - 468 (4page)

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This paper suggests method to measure that error of the precision stage is used precision process and measurement equipment by using camera optics. Though laser interferometer measures position error of stage when precision stage is manufactured by us or it is used to measure stage for the nonce as a general rule, optics tooling position measurement method to suggest is possible to apply in real-time and trace an error range continually. Therefore it is able to improve capabilities of equipment by compensating an error range when operates precision process and measurement equipment in real-time.
#Real-time Measurement(실시간 측정) #Position Error(위치 오차) #Optical Measurement(광학적 측정) #Precision Stage(정밀스테이지)

목차

Abstract
1. 서론
2. 연구 방법
3. 연구 결과 및 고찰
4. 결론
후기
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