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논문 기본 정보

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학술저널
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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.25 No.7
발행연도
2008.6
수록면
39 - 46 (8page)

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High precision machining technology has become one of the important parts in the development of a precision machine. Such a machine requires high speed on a large workspace as well as high precision positioning. For machining systems having a long stroke with ultra precision, a dual-stage system including a global stage (coarse stage) and a micro stage (fine stage) is designed in this paper. Though linear motors have a long stroke and high precision feed drivers, they have some limitations for submicron positioning. Piezo-actuators with high precision also have severe disadvantage for the travel range, and the stroke is limited to a few microns. In the milling experiments, the positional accuracy has been readily achieved within 0.2 micron over the typical 20 ㎜ stroke, and the path error over 2 micron was reduced within 0.2 micron. Therefore, this technique can be applied to develop high precision positioning and machining in the micro manufacturing and machining system.

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 듀얼 스테이지 메커니즘
3. 정밀 모션을 위한 마이크로 스테이지 설계
4. 밀링머신 실험
5. 결론
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