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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
M. Leach (서울과학기술대학교) D. Y. Jang (서울과학기술대학교) R. Miles (노섬브리아대학교)
저널정보
한국트라이볼로지학회 Tribology and Lubricants 윤활학회지 제26권 제6호
발행연도
2010.12
수록면
317 - 321 (5page)

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황화주석 박막을 만들기 위해 마그네트론 스퍼터 박막증착 공정을 통해 몰리브텐 유리판위에 주석박막을 만들고, 95% 알곤 + 5% 황화수소 가스 혼합물을 사용하여 아닐링 공정을 통해 황화주석 박막을 형성하위에 증착하는것이 좋은 결과를 보여주고있다. 박막면의 화학적 물리적 특성을 전자현미경, X선 분석, X 선 회절을 통해 실험하였으며, 아닐링 조건에 따른 황화주석 박막의 파장대 반사율의 관계를 측정하였다.

목차

논문초록
Abstract
1. Introduction
2. Experimental Details
3. Results and Analysis
4. Conclusions
감사의 글
References

참고문헌 (9)

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