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이용수
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 요약
참고문헌
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
UBM 스퍼터링을 이용한 치밀한 Al 박막 코팅
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2010 .05
UBM 스퍼터링 법으로 제조된 316L 스테인리스강 박막의 전기화학 거동 및 표면 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2000 .11
TMP station을 이용한 UBMS(Unbalanced magnetron sputtering) 시스템 개발
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .05
저온 다결정실리콘 박막트랜지스터의 수소화효과 ( Hydrogenation Effects of Low Temperature Poly-Si Thin Film Transistor )
대한전자공학회 학술대회
1993 .11
저온 다결정실리콘 박막트랜지스터의 수소화효과
대한전자공학회 학술대회
1993 .11
저온에서 제작된 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 수소화 효과에 대한 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .07
RF magnetron sputter를 이용하여 합성한 Si 박막의 결정성에 대한 수소 효과
한국재료학회 학술발표대회
2006 .01
The synthesis of teflon thin film deposited by rf magnetron sputtering system
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
스퍼터링에 의한 ITO 박막의 저온 증착 및 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
비대칭 마그네트론 스퍼터링을 이용한 다층 TiAlN/Si₃N₄ 박막의 합성과 특성평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .11
저온 공정과 고온 공정에 의해 제작된 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 수소화 효과 연구
전기학회논문지
1996 .11
Study on the properties of Cr1-xZrxN films synthesized by closed field unbalanced magnetron sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .05
UBM 마그네트론 스퍼터 시스템을 이용한 구리 타겟의 이온전류밀도 향상 연구
한국표면공학회지
2017 .06
마그네트론 스퍼터링으로 코팅된 Al-Si 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2014 .05
Closed-field unbalanced magnetron sputtering법에 의해 합성된 다이아몬드상 카본막의 구조 및 기계적 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .10
유도결합 플라즈마-마그네트론 스퍼터링 방법을 이용한 저온 폴리실리콘 제조
한국표면공학회지
2004 .06
저온 다결정 실리콘 박막트랜지스터용 유도결합플라즈마 산화
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
비대칭 마그네트론 스퍼터링으로 합성된 Zn-Mg 박막의 미세조직에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .05
박막트랜지스터 응용을 위한 고온 결정화된 다결정실리콘의 특성평가
전기학회논문지 C
2004 .05
Magnetron sputtering을 이용한 Zu-Mg 박막의 합성 및 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2011 .11
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