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Off-axis RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 저온에서 결정화된 ITO 박막의 특성
전기전자재료학회논문지
2011 .01
고주파 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작한 ITO 박막의 표면형태 및 전기적 특성
센서학회지
2006 .01
마그네트론 스퍼터링법에 의해 증착된 ITO:Yb 및 ITO:Sm 박막의 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
유도결합 플라즈마(ICP) Sputtering을 이용한 투명전도성 ITO 박막의 저온 증착 및 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .05
RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 유기 EL용 ITO 박막의 증착
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
D.C. 마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 ITO 및 ITO/Ag/ITO 박막의 미세조직과 투명 전극 특성
한국재료학회지
2006 .01
디지털 홀로그래피를 이용한 포토리소그래피로 제작된 ITO 박막 패턴에 대한 증착 높이 측정
비파괴검사학회지
2020 .02
일곤+수소 혼합가스 분위기에서 r.f. 마그네트론 스퍼터링 방식으로 제작된 ITO 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .11
반응성 마그네트론 프로세스에 의한 ITO박막 형성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1992 .07
Magnetron Sputtering 법으로 증착한 ITo 박막의 저온공정에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2007 .04
금속 음이온 빔 증착에 따른 ITO 박막의 물성 변화
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
유연성 기판 위에 증착된 ITO 박막의 공정 온도에 따른 전기적·광학적 특성 평가
전기전자재료학회논문지
2013 .01
상온에서 분말타겟의 스퍼터에 의해 증착된 ITO박막
한국표면공학회지
2000 .10
유도결합 플라즈마(ICP) Sputtering에 의한 평판 디스플레이 (FPD)용 ITO 박막의 저온 증착
한국표면공학회지
2004 .06
DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ITO/PET 초박막의 제작 및 물성 평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2014 .05
ITO/Ni/ITO 박막의 광학적 전기적 특성 연구
한국표면공학회지
2005 .04
ITO/Ni/ITO 박막의 공정변수에 따른 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
이온빔 스퍼터링 증탁 ITO 박막의 미세 구조와 전기적 특성
한국태양에너지학회 논문집
2000 .06
분위기 가스에 따른 ITO 박막의 전기적 및 구조적 특성
반도체및디스플레이장비학회지
2008 .01
RF magnetron sputter에 의한 PET기판상 ITO/AI/ITO 박막의 증착 압력이 광학적 전기적 특성에 미치는 영향
한국표면공학회지
2005 .04
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