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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
최용우 (한국과학기술원 재료공학과) 안병태 (한국과학기술원 재료공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1998년도 한국재료학회 춘계학술발표강연 및 논문개요집
발행연도
1998.1
수록면
10 - 10 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

1998

저온 다결정 실리콘 박막트랜지스터용 유도결합플라즈마 산화
최용우 ,  안병태 한국재료학회 학술발표대회 1998.01 학술대회자료
마이크로웨이브를 이용해 결정화시킨 다결정실리콘을 이용해 제작한 박막트랜지스터 특성
최용우 ,  이정노 ,  안병태 대한전자공학회 학술대회 1998.01 학술대회자료

1997

마이크로웨이브법으로 고상결정화 시킨 poly-Si 박막을 이용하여 제작한 저온 poly-Si TFT의 특성
최용우 ,  안병태 한국재료학회 학술발표대회 1997.01 학술대회자료

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