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INDUCTIVELY COUPLED PLASMA (ICP) OXIDATION FOR LOW-TEMPERATURE POLY-Si THIN FILM TRANSISTORS
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
저온 다결정실리콘 박막트랜지스터의 수소화효과
대한전자공학회 학술대회
1993 .11
저온 다결정실리콘 박막트랜지스터의 수소화효과 ( Hydrogenation Effects of Low Temperature Poly-Si Thin Film Transistor )
대한전자공학회 학술대회
1993 .11
저온에서 제작된 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 수소화 효과에 대한 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .07
다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 수소화 효과
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
박막트랜지스터 응용을 위한 고온 결정화된 다결정실리콘의 특성평가
전기학회논문지 C
2004 .05
저온 공정과 고온 공정에 의해 제작된 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 수소화 효과 연구
전기학회논문지
1996 .11
전계 유도 방향성 결정화를 이용한 저온 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 제작에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
유도결합 NO 플라즈마를 이용한 실리콘 산화막의 저온성장과 다결정 실리콘 박막 트랜지스터에의 영향
한국재료학회지
2002 .01
저온 열처리를 이용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
짧은 채널 길이의 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 전기적 스트레스에 대한 연구 ( A Study of Electrical Stress on Short Channel Poly-Si Thin Film Transistors )
전자공학회논문지-A
1995 .08
고온 다결정 실리콘 박막트랜지스터의 전기적 특성과 누설전류 특성
대한전자공학회 학술대회
1995 .12
이중 금속 측면 결정화를 이용한 400。C 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 제작 및 그 특성에 관한 연구 ( Fabrication and characteristics of poly - Si thin film transistors by double - metal induced lateral crystallization at 400˚C )
전자공학회논문지-D
1997 .04
유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )
전자공학회논문지-SD
2001 .09
금속 유도 측면 결정화법에 의해 제작된 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 스트레스 효과에 대한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
선택적 결정화를 통한 채널에 비정질 영역을 갖는 새로운 다결정 실리콘 박막 트랜지스터
전기학회논문지
1997 .11
내장형 Multiple U-type 안테나를 이용한 나노 다결정 실리콘의 증착에 대한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2007 .04
다결정 실리콘 박막트랜지스터의 저온 암모니아 어닐링에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1995 .06
자연 산화막과 엑시머 레이저를 이용한 poly-Si/a-Si 이중 박막 다결정 실리콘 박막 트랜지스터
전기학회논문지 C
2000 .01
다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 전기적 특성 ( The Electrical Characteristics of Polycrystalline Silicon Thin Film Transistors )
전자공학회논문지-A
1991 .03
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