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1. 서론
2. 본론
3. 결과
참고문헌
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유도결합형 플라즈마에서 압력에 따른 Ar Gas의 특성분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .07
유도결합 플라즈마 장치의 유한 요소 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2014 .11
대형 유도 결합 플라즈마 시스템의 플라즈마 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
유도결합형 Ar 플라즈마의 압력에 따른 전기적 특성분석
전기학회논문지 C
2004 .03
유도 결합형 열 플라즈마의 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1991 .11
Ar 가스 압력에 따른 유도결합형 플라즈마의 전자 밀도 측정
전기학회논문지 C
2003 .11
유도결합 플라즈마를 이용한 크름 증착에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .06
유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )
전자공학회논문지-SD
2001 .09
Ar 가스 압력과 RF 전력변화에 따른 유도결합형 플라즈마 E-H모드 변환의 광학적 특성
전기학회논문지 C
2004 .01
유도 결합형 플라즈마를 이용한 아르곤 가스의 휘도 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2004 .07
Inductively coupled plasma reactive ion etching of ZnO using C2F6 gas
한국재료학회 학술발표대회
2005 .01
유도 결합형 플라즈마를 이용한 감광제 제거 반응로의 설계 ( Design of Inductively Coupled Plasma Ashing Chamber )
대한전자공학회 학술대회
1998 .07
유도 결합형 플라즈마를 이용한 감광제 제거 반응로의 설계
대한전자공학회 학술대회
1998 .06
대면적 플라즈마 공정을 위한 내장형 선형 안테나을 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .04
유도 결합 플라즈마를 이용한 Plasma Enhanced PVD 공정의 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
유도 결합형 SF₆플라즈마 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .11
Ar/CF4 Gas를 이용한 대면적 유도결합 플라즈마의 광분석 장치 개발에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2014 .07
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2019 .07
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