대형 유도 결합 플라즈마 시스템의 플라즈마 수치 해석

주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .05

상부 유도 결합 플라즈마에서 챔버 길이에 따른 전기적 특성 및 플라즈마 분포

홍영훈 ,  장이랑 ,  김주호

전기학회논문지

2022 .08

Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구

조성환 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2018 .10

Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구

조성환 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2019 .07

Cutoff Probe를 이용한 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구

손의정 ,  김동현 ,  이호준

전기학회논문지

2016 .10

고진공에서의 Inductively Coupled Plasma 특성 진단

조성환 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2020 .07

0D 글로벌 모델을 활용한 유도 결합 플라즈마 내부 Ar/H₂S 화학반응 메커니즘 분석

강나윤 ,  김태현 ,  이은호

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

Aspect Ratio 변화에 따른 Plasma Uniformity 변화

조성환 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2019 .10

아르곤/이산화탄소 혼합가스의 유도 결합 플라즈마를 이용한 이산화탄소 분해 연구

김경현 ,  김관용 ,  이효창 외 1명

KEPCO Journal on electric power and energy

2015 .01

유도 결합 플라즈마를 이용한 Fence free Ta₂O₅ 박막 식각에 관한 연구

허상욱 ,  김관하

대한전기학회 학술대회 논문집

2021 .10

In-Situ Detection Method of Abnormal Plasma Discharge in Plasma-Assisted Deposition Processes

Muhammad Zeeshan A ,  shad ,  홍상진

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2018 .04

유체시뮬레이션을 통한 Ar/CF₄ 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구

김윤기 ,  손의정 ,  위성석 외 2명

전기학회논문지

2015 .04

Research Trend and Future Perspective of Plasma-Assisted Health Care Technology

Hae June Lee ,  Kiwon Song

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2015 .10

유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구

손의정 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2017 .10

상압 플라즈마를 이용한 무기박막의 화학기상 증착법에 대한 연구동향

김경남 ,  이승민 ,  염근영

한국표면공학회지

2015 .10

중성 종의 열 유동 해석 및 플라스마 유체 시뮬레이션을 이용한 유도 결합 Ar/H2 플라스마의 특성 분석

차주홍

전기학회논문지

2022 .02

유도결합 및 초고주파 하이브리드 플라즈마 발생장치에 관한 연구

차주홍 ,  김군호 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2020 .07

유체시뮬레이션을 이용한 aspect ratio에 따른 유도결합플라즈마의 최적화 특성 연구

손의정 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2018 .10

임피던스 변화를 이용한 선형 대기압 DBD 플라즈마 밀도 측정

신기원 ,  이환희 ,  권희태 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2018 .01

1kW 저온 플라즈마 전원 장치

김현우 ,  김태빈 ,  김가인 외 2명

한국조명·전기설비학회 학술대회논문집

2021 .11