유도결합형 플라즈마 소스를 이용한 집속 이온빔용 가스 이온원 개발

이승훈 ,  김도근 ,  강재욱 외 3명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2011 .01

Study on High Precision Milling using Plasma Ion source

Jong-Han Won ,  Dong-Young Jang

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2014 .09

E-ION

M. Roegie ,  s

Lubricants Symposium

2004 .09

CU⁺ ION EXTRACTION FROM A MODIFIED BERNAS ION SOURCE IN A METAL-ION IMPLANTER

IN-SEOK HONG ,  HWA-RYUN LEE ,  TU ANH TRINH 외 1명

Nuclear Engineering and Technology

2009 .01

U Type Ferrite Core를 이용한 Inductive Coupled Plasma Source에 관한 연구

남창우

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

Development of a High Current Metal Ion Source for Large-area Processing

Min Ki Choi ,  Do Geun Kim ,  Eung Sun Byon 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

다개구 이온빔 가공장치용 냉음극 방식의 가스 이온원의 가능성 평가에 관한 연구

최성창 ,  강인철 ,  한재길 외 2명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2011 .03

대면적 플라즈마 공정을 위한 내장형 선형 안테나을 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구

임종혁 ,  김경남 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

고수율 집속 이온빔 장치를 위한 ICP 이온원의 빔 인출 특성에 관한 연구

김동욱 ,  장동영 ,  박만진 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .05

Development and characteristic study of high brightness ion source using inductively coupled plasma for focused ion beam

김윤재 ,  박동희 ,  황용석

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2004 .04

SEM 단면 시료 제작을 위한 플라즈마 이온원의 구조

원종한 ,  장동영 ,  박만진

한국생산제조학회지

2015 .08

국부 방전 효과를 이용한 고휘도 집속 이온빔용 유도결합 플라즈마 이온원의 개발

박용신 ,  김윤재 ,  정형설 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2006 .05

Design of the ion source and column for a prototype ion miller

Bo-Hyun Chung ,  Min Sik Choi ,  Dong Uk Kim 외 4명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2012 .10

유도 결합 플라즈마 기술

이효창

인포메이션 디스플레이

2017 .01

내부전극 구조 변화에 따른 Saddle field ion source의 특성 연구

최성창 ,  강인철 ,  한재길

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

아연백법 및 공침공정을 이용한 복합 중금속-시안착염 폐수의 현장처리(1)

이종철 ,  강익중

대한환경공학회지

2007 .12

CO₂⁺ 이온으로 오염된 토양에 대한 Citric acid 의 제염효과

권회삼 ,  원휘준 ,  김계남 외 2명

대한환경공학회 학술발표논문집

1999 .08

Fluorescent conjugated polymer containing rhodamine 6G derivative for FRET-based detection of Al³⁺ ion

남궁호 ,  김종호 ,  이택승

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2015 .10