HDP CVD에서 공정 가스 유량 감소에 따른 D/S ratio의 변화에 의한 Gap-fil 특성 확인

박신근 ,  서창수 ,  지상엽 외 6명

대한전자공학회 학술대회

2015 .06

65 ㎚이하 shallow trench isolation (STI) gap fill 특성향상을 위한 profile 개선 연구

김희대 ,  박창기 ,  이내응

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10

CVD 공정 STI Void Mechanism 규명 및 개선

김나경 ,  김경호 ,  이호철

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2012 .10

Shallow Trench Isolation Characteristics with High Density Plasma ( HDP ) Gap-Fill Oxide , Compared to HLD Gap-Filler

Seung Ho Lee ,  손정환 ,  Ku Chul Jung 외 6명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

Reduction of Plasma Process Induced Damage during HDP IMD Deposition

Yong Jin Seo ,  Sang Yong Kim ,  Woo-Sun Lee

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2002 .01

Gap-Fill Characteristics and Film Properties of DMDMOS Fabricated by an F-CVD System

Lee ,  Woojin ,  Fukazawa 외 3명

한국재료학회지

2016 .01

Deep-Submicron CMOS기술을 위한 High-Density-Plasma ( HDP ) CVD 매립 물질로 채워진 Shallow 트렌치 분리 특성 ( Shallow Trench Isolation Characteristics with High-Densty-Plasma ( HDP ) CVD Oxide for Deep-Submicron CMOS Technologies )

이승호 ,  정구철 ,  정성웅 외 4명

대한전자공학회 워크샵

1997 .01

STI 구조를 갖는 소자의 leakage path 발생 과정에 대한 모델링 연구

서대만 ,  박연식 ,  상재호 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .05

HDP CVD 챔버 형상 변화에 따른 가스 유동 균일성에 대한 연구

장경민 ,  김진태 ,  홍순일 외 1명

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

Failure Analysis for High via Resistance by HDP CVD System for IMD Layer

Hun-SangChung ,  Sang-YongKim ,  Yong-JinSeo

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2002 .01

39.3 Hyper-reality Head Dome Projector $^{TM}$(HDP) for future displays

Okumu ,  a ,  Ha 외 8명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2008 .01

Effect of a Multi-Step Gap-Filling Process to Improve Adhesion between Low-K Films and Metal Patterns

Lee ,  Woojin ,  Kim 외 3명

한국재료학회지

2016 .01

Multiple-inputs Dual-outputs Process Characterization and Optimization of HDP-CVD SiO₂ Deposition

Sang Jeen Hong ,  Jong Ha Hwang ,  Sang Hyun Chun 외 1명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2011 .09

STI(Shallow Trench Isolation) 공정에서 Torn Oxide Defect 해결에 관한 연구

김상용 ,  서용진 ,  김태형 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

DRAM 80㎚이하 ILD HDP OXIDE GAP FILL능력 향상 및 VOID개선에 대한 연구

송윤섭 ,  김정열 ,  이석형

대한전자공학회 학술대회

2008 .11

STI 구조에서 발생하는 MOSFET Hump 특성에 관한 연구

이용희 ,  정상범 ,  이천희

한국정보과학회 학술발표논문집

1998 .10

HDP-CVD로 증착된 실리콘 산화막 공정조건 최적화를 위한 신경망 모델링

박인혜 ,  유경한 ,  서동선 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10

새로운 TiSi₂ 형성방법과 STI를 이용한 초박막 게이트 산화막의 특성 개선 연구

엄금용 ,  오환술

대한전자공학회 학술대회

2000 .11

HDP-CVD를 이용한 OLED용 수분침투 방지막에 대한 연구

김창조 ,  신백균 ,  최윤 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

STI Network Management Status

Sang Gil Lee

CDMA International Conference and Exhibition

1997 .01