Pulsed DC Power Magnetron Sputter System을 사용한 Copper 박막 특성 조절

김도한 ,  이수정 ,  김태형 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .05

EFFECTS OF THE COPPER ADDITION ON PHYSICAL PARAMETERS OF MAGNETRON-SPUTTERED Al-1% SI-X% Cu FILMS

C. G. Ko ,  J. K. Kim ,  K. S. Cho

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

Influence of Deposition Conditions on the Adhesion of Sputter-deposited MoS₂-Ti Films

Sun Kyu Kim ,  Yongliang Li

한국표면공학회지

2004 .02

RF Magnetron Sputtering법의 의해 Alloy42 기판상에 증착된 Ag막의 밀착력과 계면에 관한 연구

이철룡 ,  천희곤 ,  조동율 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .11

스퍼터링법에 의한 Cu막 형성 기술

김현식 ,  송재성 ,  정순종 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

Al thin films of high density deposited with magnetron sputtering

Ji Hoon Yang ,  Jae-Hun Jung ,  Min-A Song 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

The Effect of Substrate Bias Voltage on the Adhesion Strength of CrZrN Films Synthesized by an Unbalanced Magnetron Sputtering System

Kyu-Sung Kim ,  Dong-Jun Kim ,  Jung-Hyun La 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

The Effect of Substrate Bias Voltage on the Adhesion Strength of CrZrN Films Synthesized by an Unbalanced Magnetron Sputtering System

Kyu-Sung Kim ,  Dong-Jun Kim ,  Jung-Hyun La 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Al2O3 기판에 형성된 Titanium 박막의 전기적 및 구조적 특성

양현훈 ,  김영준 ,  정운조 외 2명

전기전자재료학회논문지

2003 .01

RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤손길

한국재료학회지

1994 .01

Adhesion property of Cr, Al and Cu thin films deposited on polycarbonate by magnetron sputtering

Seung Chun Oh ,  Sung Dae Kim ,  Jung uk Shin 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .10

그림자효과를 이용하여 증착한 구리박막의 구조에 관한 연구

배창환 ,  이주희 ,  한창석

열처리공학회지

2009 .01

DC Magnetron Sputtering에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성

표재확 ,  연충규 ,  황기웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

Development of High Entropy Alloy Film using Magnetron Sputtering

Young Seok Kim ,  Ki Seong Lim ,  Ki Buem Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .06

ITO thin film electrode deposition on plastic substrates by DC magnetron sputtering

이종걸 ,  이선영 ,  김성수

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2008 .04

Magnetron sputtering을 이용한 Zu-Mg 박막의 합성 및 특성에 관한 연구

라정현 ,  이창민 ,  김범석 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2011 .11

연속 ECR-CVD 조업하에 RF-magnetron-sputter의 싸이클조업을 통해 PET위에 올려진 구리박막의 특성

명종윤 ,  전법주 ,  변동진 외 1명

한국재료학회지

2005 .01