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이용수
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 요약
참고문헌
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마그네트론 스퍼터링법을 이용한 화합물 박막의 고속 증착에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .11
DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성 ( The Characteristics of Aluminum Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성 ( The Characteristics of Aluminum Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
마그네트론 코-스퍼터링에 의한 구리-니켈 합금박막 증착시 타겟의 구성방법에 따른 물성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2000 .07
자기장 분포 제어에 의한 마그네트론 스퍼터링 증착 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2011 .07
DC 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 anatase TiO₂ 박막의 증착거동 및 광학적 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .11
마그네트론 스퍼터링 기술의 개발 동향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막의 증착 및 구리 도우핑 효과
전기학회논문지 C
2000 .12
마그네트론 스퍼터링으로 코팅된 Al-Si 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2014 .05
박막 저항체 응용을 위해 마그네트론 스퍼터링 법으로 증착된 Cu-Ni 합금 박막의 조성에 따른 특성 연구
한국재료학회 학술발표대회
2004 .01
원통형 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착한 티타늄 박막의 특성
한국에너지학회 학술발표회
2016 .10
DC Magnetron Sputtering에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .11
고밀도 플라즈마 반응성 DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 TiNx 박막의 특성 연구
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2011 .05
Influence of discharge power on the properties of ZnO:Al films deposited by dc magnetron sputtering
한국재료학회 학술발표대회
2005 .01
마그네트론 스퍼터링을 이용한 초박막 Ag, Cu 금속 박막의 열처리에 따른 물질 특성 변화
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .05
The synthesis of teflon thin film deposited by rf magnetron sputtering system
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
박막저항체를 위한 RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 Cu-Ni alloy 박막의 특성
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
RF/DC 중첩형 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착한 ZIO 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
화학기상증착 및 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 절연박막의 물성 분석 및 전기적 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .07
Bipolar pulsed DC magnetron sputtering에서 정적 증착과 동적 증착에 의한 박막특성 변화
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
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