Si 기판 위에 Mo-Silicides의 형성과 그 특성에 관한 연구 ( A Study on the Properties and Formation of Mo-Silicides on Si-Substrate )

조한수 ,  조현춘 ,  최진석 외 1명

전자공학회논문지-A

1991 .01

Si 기판 위에 형성된 Mo-silicides에 관한 연구 ( A study of Mo-silicides formed on Si-substrate )

조한수 ,  조현춘 ,  최진석 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .07

Formation of Mo-Silicide on Mo Tip

Oh ,  Chang-Woo ,  Kim 외 6명

한국정보디스플레이학회 학술대회

2000 .01

Molybdenum and Cobalt Silicide Field Emitter Arrays

Lee ,  Jong-Duk ,  Shim 외 6명

Journal of information display

2000 .01

이온 빔 믹싱을 이용한 나노 금속 화합물 제작

박장욱 ,  한진 ,  민병권 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .05

Composite Target으로 중착된 Mo-Silicide의 형성 및 이에 따른 불순물의 거동 ( Behavior of the Implanted Dopants and Formation of Molybdenum Silicide by Composite Sputtering )

김호석 ,  백수현 ,  조현춘 외 6명

대한전자공학회 학술대회

1992 .01

On the formation of Ta-silicides -2-

Hee-Jun Yang ,  Dong-Won Kim ,  Jin-Seog Choi 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

Ta-Silicides 형성에 관한 연구 ( 1 ) ( On the formation of Ta-Silicides - 1 - )

양희준 ,  최진석 ,  조현춘 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

Ta-Silicides 형성에 관한 연구 - 2 - ( On the Formation of Ta-Silicides - 2 - )

양희준 ,  김동원 ,  최진석 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

니켈 코발트 합금조성에 따른 복합실리사이드의 물성 연구

김상엽 ,  송오성

한국재료학회지

2007 .01

니켈 실리사이드의 열안정성에 대한 실리카 상부막과 코발트 중간막의 영향

한길진 ,  조유정 ,  김영철 외 4명

반도체및디스플레이장비학회지

2005 .01

Vacuum Dependency of Si, Co Slicide and Mo Silicide FEAs

Lee ,  Jong-Duk ,  Shim 외 6명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2002 .01

Composite Target으로 증착된 Ti-silicide의 현성에 관한 연구[II]

최진석 ,  백수현 ,  송영식 외 2명

한국재료학회지

1991 .01

Composite target으로 증착된 Mo-silicide의 형성 및 불순물의 거동

조현춘 ,  백수현 ,  최진석 외 6명

한국재료학회지

1992 .01

Si기판에 주입된 As이온이 Titanium-Silicides 형성에 미치는 영향 - 1 - ( Effects of As Ions Implanted in Si Substrates on the Titanium-Silicides Formation )

정주혁 ,  최진석 ,  백수현

전자공학회논문지

1989 .06

Properties of Co-silicide prepared by rapid thermal annealing

엄우용 ,  장호정 ,  장지근 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

Stress Dependence of Thermal Stability of Nickel Silicide forNano MOSFETs

Ying-Ying Zhang ,  Won-Jae Lee ,  Zhun Zhong 외 6명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2007 .01

코발트/니켈 적층구조 박막으로부터 형성된 복합실리사이드

송오성 ,  정성희 ,  김득중 외 1명

한국재료학회지

2004 .01

Thermal Instability of ( Ti , Co ) Silicides by High Temperature Annealing

엄우용 ,  장호정 ,  장지근 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

폴리실리콘 기판 위에 형성된 코발트 니켈 복합실리사이드 박막의 열처리 온도에 따른 물성과 미세구조변화

김상엽 ,  송오성

한국재료학회지

2006 .01