대면적 플라즈마 공정을 위한 ferrite module을 이용한 U-type 내장형 선형 유도결합 플라즈마 소스에 관한 연구

홍승표 ,  임종혁 ,  권광호 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

유도 결합 플라즈마 기술

이효창

인포메이션 디스플레이

2017 .01

대면적 플라즈마 공정을 위한 내장형 선형 안테나을 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구

임종혁 ,  김경남 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

내장형 선형 ICP(Inductively Coupled Plasma) System에서 자장이 플라즈마와 PR 식각특성에 미치는 영향

김경남 ,  이영준 ,  경세진 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .05

이중 주파수를 이용한 펄스 유도 결합 플라즈마 특성 연구

김기현 ,  김태형 ,  이승민 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

약한 자장을 사용하는 평면형 유도결합 플라즈마의 식각 특성

이호준 ,  양일동 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

대형 유도 결합 플라즈마 시스템의 플라즈마 수치 해석

주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .05

흑색종 세포에 대한 플라즈마와 전기장의 효과 연구

손채화 ,  최영욱 ,  정순신 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .10

디스플레이 공정 플라즈마 기초

김동환 ,  정진욱

인포메이션 디스플레이

2015 .01

평판형 RF 플라즈마에서 축방향 자장이 플라즈마 물성 및 식각에 미치는 영향

이호준 ,  신경섭 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

저압 유도결합 플라즈마(ICP)의 연구동향

이홍식 ,  노영수 ,  김윤택

전기의세계

1994 .03

자장의 배열 및 형태가 유도결합형 플라즈마에 미치는 효과에 관한 연구

황순원 ,  이영준 ,  유지범 외 2명

한국표면공학회지

1999 .08

450mm 웨이퍼 공정을 위한 이중 주파수 유도결합 플라즈마 소스의 개발 및 특성 연구

강승현 ,  김태형 ,  Anu 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

그리드를 장착한 DC 마그네트론 플라즈마의 플라즈마 특성 연구

인정환 ,  정민재

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .05

유도 결합 플라즈마 보조 스퍼터링 장치의 기술적 발전 과제

주정훈

인포메이션 디스플레이

2011 .01

Ar 가스압력과 RF 전력변화 (13.56㎒)에 따른 유도결합형 플라즈마의 광학적 E-H모드변환 특성

허인성 ,  이영환 ,  최용성 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

내장형 Multiple U-type 안테나를 이용한 나노 다결정 실리콘의 증착에 대한 연구

김홍범 ,  이형철 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

유도결합 플라즈마에서 두 안테나의 구조에 따른 특성 연구

김진성 ,  방진영 ,  이효창 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2007 .11

열 플라즈마 응용을 위한 전력전자 기술

장영훈 ,  이제환 ,  노태우

전력전자학회지

2013 .06