지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
자장 강화된 유도결합형 SF₆계 플라즈마를 이용한 SiC 식각특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .05
약한 자장을 사용하는 평면형 유도결합 플라즈마의 식각 특성
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
내장형 선형 ICP(Inductively Coupled Plasma) System에서 자장이 플라즈마와 PR 식각특성에 미치는 영향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .05
Downstream 誘導形 반응기의 제작 및 CF4/O2 플라즈마를 이용한 a-Si:H의 식각
대한전자공학회 학술대회
1992 .06
다면적 플라즈마 공정에서 자장이 내장형 선형 유도결합 플라즈마 특성에 미치는 영향에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .05
플라즈마 주요 인자를 활용한 가상 계측 기반의 플라즈마 식각 공정 제어를 위한 시스템 식별
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
2016 .03
ECR 플라즈마 식각 장치에서 플라즈마 변수가 식각 특성에 미치는 영향 ( Effects of Plasma Parameters on Etch Characteristics in ECR Etcher )
대한전자공학회 학술대회
1991 .11
RF 플라즈마 전력 전송 기술
인포메이션 디스플레이
2017 .01
CH₄/Ar 유도결합플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
플라즈마를 이용한 GaAs 반응성 이온 식각
한국재료학회 학술발표대회
2009 .01
NLD Plasma 식각 공정을 이용한 $LiNbO_3$ 광 도파로의 식각 Profile의 특성
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
고밀도 플라즈마를 이용한 contact hole 식각에서 공정 변수에 따른 식각 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
ECR 플라즈마 식각 장치에서 플라즈마 물성이 식각 특성에 미치는 영향
전기학회논문지
1993 .04
고밀도 플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
금속 접촉 저항에 대한 RF 식각 조건의 영향
전기학회논문지 C
2002 .04
BCl₃/C₄F₈ 가스 조합을 이용한 ZrOx 박막의 선택적 플라즈마 식각에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .04
플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발 ( Development of Three-Dimensional Etching Simulator for a Plasma Etching Process )
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
단결정 실리콘의 이방성 습식식각
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2003 .01
하이브리드 모델을 이용한 플라즈마 식각 공정에서의 식각종료점 검출
대한전자공학회 학술대회
2011 .06
0