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박막저항체를 위한 RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 Cu-Ni alloy 박막의 특성
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
마그네트론 코-스퍼터링에 의한 구리-니켈 합금박막 증착시 타겟의 구성방법에 따른 물성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2000 .07
Mo-Cu 단일 합금타겟을 이용하여 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 박막의 Cu 함량에 따른 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
마그네트론 스퍼터링을 이용한 초박막 Ag, Cu 금속 박막의 열처리에 따른 물질 특성 변화
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .05
스퍼터 증착한 Cu-Ni 합금박막의 전기적 특성 및 열처리에 따른 미세구조 변화
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1995 .10
DC 마그네트론 스퍼터링법에 의해 증착된 구리박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .05
Mo-Cu 단일 합금타겟을 이용하여 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 박막의 마찰특성
한국트라이볼로지학회 학술대회
2018 .10
Ni/Cr/Al/Cu계 합금저항박막의 전기적 특성에 대한 제조공정 변수의 영향
전기학회논문지 P
2001 .12
DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성 ( The Characteristics of Aluminum Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성 ( The Characteristics of Aluminum Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
원통형 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착한 티타늄 박막의 특성
한국에너지학회 학술발표회
2016 .10
Cu-Ni-Si계 합금의 연구
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
The synthesis of teflon thin film deposited by rf magnetron sputtering system
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
마그네트론 스퍼터링법을 이용한 화합물 박막의 고속 증착에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .11
Magnetron Sputtering 법을 이용한 Mo-Cu 박막의 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2011 .07
Cu-Ni 계 박막 스트레인 게이지의 개발
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
마그네트론 스퍼터링법을 이용한 Indium-Tin Oxide 박막의 제작과 그 특성에 관한 연구
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2000 .11
선형이온소스 및 플라즈마 보조 마그네트론 스퍼터링을 통한 고품위 Cu 박막 형성 기술
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
Ni/Cu, Co/Cu 나노다층박막의 전기화학적 제조 및 특성평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2002 .05
Deposition of Cu-Ni films by Magnetron Co-Sputtering and Effects of Target Configurations on Film Properties
KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications
2003 .02
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