Mo-Cu 단일 합금타겟을 이용하여 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 박막의 Cu 함량에 따른 연구

이한찬 ,  신백균 ,  문경일

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

Mo-Cu 단일 합금타겟을 이용하여 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 박막의 마찰특성

이한찬 ,  윤혜원 ,  정훈 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2018 .10

마그네트론 스퍼터링법을 이용한 Zn 나노 구조 제어

이원지 ,  윤성호 ,  김안나 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .06

스테인리스 강판에 DC 마그네트론 스퍼터링 방법을 통해 제조한 Cu-Ni-Al 합금박막의 내식성 연구

윤상두 ,  이준석 ,  우성민 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .06

선형이온소스를 활용한 연성인쇄회로 기판용 Cu 박막 밀착력 향상

변은연 ,  이승훈 ,  김도근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .11

원통형 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착한 티타늄 박막의 특성

성기웅

한국에너지학회 학술발표회

2016 .10

스퍼터링 방식으로 증착된 Cu₂SnS₃ 박막의 열처리 효과

박주형 ,  곽지혜 ,  김기환 외 9명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2017 .05

스퍼터링 공정 조건이 산화 구리 박막 특성에 미치는 영향

조재유 ,  허재영

Current Photovoltaic Research

2017 .03

단일 합금타겟을 이용한 마크네트론 스퍼터링 공정으로 증착된 MoN-Cu 박막

이한찬 ,  문경일 ,  신백균

한국표면공학회지

2016 .08

Mo-Cu 합금타겟을 이용하여 스퍼터링법으로 제작한 박막의 마찰특성

이한찬 ,  윤혜원 ,  김수빈 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .04

Ar-N2 플라즈마가 Cu 표면에 미치는 구조적 특성 분석

박해성 ,  김은경

마이크로전자 및 패키징학회지

2018 .01

직류 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 은 박막에서의 산소 검출에 관한 연구

곽동열 ,  조승범 ,  강동찬 외 3명

비파괴검사학회지

2018 .10

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 전기변색 박막의 물성평가

조상현 ,  이재근 ,  이성호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

RF 마그네트론 스퍼터링 증착 압력변화에 따른 SnS 박막의 구조적, 광학적 특성 연구

손승익 ,  신동혁 ,  김서한 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

RF 마그네트론 스퍼터링으로 제조한 SnS 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 열처리 효과

손승익 ,  신동혁 ,  김서한 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

Dy³⁺와 Eu³⁺ 이온이 동시 도핑된 CaAl₂O₄ 형광체 박막의 특성

이성재 ,  조신호

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2015 .06

RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 리튬 이온 이차전지 양극용 바나듐 옥사이드 박막에 관한 연구

장기준 ,  김기출

한국산학기술학회 논문지

2019 .06

스퍼터링 장치의 전극 구성에 따른 박막 특성 분석

변진용 ,  허윤성

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

고품질 Cu 박막 형성을 위한 폴리머 기판상 표면처리 기술 연구

변은연 ,  최두호 ,  김도근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .11

반도체용 마그네트론 스퍼터링 음극 전산 모사 소프트웨어 개발

주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .11