In Line Type ICP 마그네트론 스퍼터링 장치와 E-Beam Evaporation에 의한 MgO 박막 특성 비교

양원균; 김태학; 주정훈

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 양원균 김태학 주정훈

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2005 추계학술발표회 및 Workshop

발행연도: 2005.11

수록면: 166 - 167 (2page)

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