ICP MgO 마그네트론 스퍼터링에서 실시간 공정 진단

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 주정훈

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2005년도 춘계 학술발표회 초록집

발행연도: 2005.5

수록면: 12 - 12 (1page)

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ICP MgO 마그네트론 스퍼터링에서 실시간 공정 진단

주정훈 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2005.05 학술대회자료

MgO 증착을 위한 유도결합 플라즈마 마그네트론 스퍼터링에서 실시간 공정 진단

주정훈 한국표면공학회지 2005.04 학술저널

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