Ion shower doping 후 FA(furnace annealing)에 따르는 dopant activation 과 damage recovery에 관한 연구

박종현; 김동민; 노재상

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박종현 (홍익대학교) 김동민 (홍익대학교) 노재상 (홍익대학교)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2003년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집

발행연도: 2003.1

수록면: 117 - 117 (1page)

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김동민

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노재상

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