유기물 기판 위에 증착된 ZnO:Al 투명전도막의 전기적 특성에 미치는 기판 바이어스 전압의 효과

곽동주

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자료유형: 학술저널

저자정보: 곽동주

저널정보: 한국조명·전기설비학회 조명·전기설비학회논문지 조명·전기설비학회논문지 제23권 제1호

발행연도: 2009.1

수록면: 78 - 84 (7page)

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본 연구에서는 ZnO:Al 박막의 필름형 염료감응 태양전지의 투명전도막으로의 응용 가능성을 연구하기 위하여 PET 기판 위에 r. f. 마그네트론 스퍼터링법으로 ZnO:Al 박막을 증착하였으며 ZnO:Al 박막의 전기적 그리고 광학적 특성의 향상을 위하여 기판 바이어스 전압을 인가하였다. 그 결과 정(＋)의 기판 바이어스 전압은 플라즈마 중의 전자를 기판의 스퍼터 원자에 충돌하게 함으로써 박막에 부가적인 에너지를 공급하게 되어 박막의 결정성장 및 전기적 특성을 향상시키고 있음을 알 수 있었다. 그러나 ＋30[V] 이상의 과도한 기판 바이어스 전압을 인가한 경우, 박막의 전기적 특성은 나빠졌으며, 특히 부(-)의 바이어스 전압을 인가한 경우 결정 성장이 나타나지 않아, 전기적 특성의 향상을 위한 기판 바이어스 전압의 효과가 매우 제한적으로 작용되고 있음을 알 수 있었다. 본 연구에서는 ＋30[V]의 기판 바이어스 조건하에서 1.8×10?³[Ω-㎝]의 체적 저항율 및 87.77[%]의 광 투과율을 얻을 수 있었다.

#ZnO:Al Transparent Conducting Rim #Electrical Resistivity #Optical Transmittance #Bias Voltage

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1. [학술지(정기간행물)] - B. O’ Regan / 1991 / / Nature 353 : 737 ~

2. [학술지(정기간행물)] - R. Tueta / 1981 / Fabrication and characterizations of Indium Tin Oxide thin films for electroluminescent applications / Thin Solid Films 80 (1) : 143 ~

3. [학술지(정기간행물)] - Woon-Jo Jeong / 2001 / Electrical and optical properties of ZnO film as a function of deposition parameters / Solar Energy Material ＆ Solar Cells 65 : 37 ~ 45

4. [학술지(정기간행물)] - Y. Igasaki / 2001 / Argon gas pressure dependence of properties of transparent conducting ZnO:Al films deposited on glass substrates / Applied Surface Science 509 : 169 ~ 170

5. [학술지(정기간행물)] - D. J. Kwak / 2004 / Argon Gas Pressure and Substrate Temperature Dependences of ZnO:Al Film by Magnetron Sputtering / JKPS 45 (1) : 206 ~

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