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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 초정밀 스테이지 설계
3. 실험장치 및 조건
4. 실험 결과
5. 결론
참고문헌
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2009 .10
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2008 .11
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2004 .04
PZT(10/90)/PZT(90/10) 이종층 박막의 구조적, 전기적 특성
전기학회논문지 C
2000 .02
압전 액츄에이터를 이용한 초정밀 위치제어장치 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2002 .10
Micro Valve with Functional Actuator
대한기계학회 춘추학술대회
2004 .11
초고집적회로의 커패시터용 PZT 박막의 입열 조건에 따른 유전특성 - 1 - 비정질 PZT를 사용한 PZT 박막의 누설전류 개선에 관한 연구 ( Dielectric properties with heat-input condition of PZT thin films for ULSI`s capacitor - 1- A study on the improvement of leakage current of PZT thin films using a amorphous PZT layer )
전자공학회논문지-A
1995 .12
PZT 후막의 미세 구조적 특성에 조성과 전구체 용액의 코팅이미치는 영향
전기전자재료학회논문지
2006 .01
PZT(5/95)PZT(95/5) 이종층 박막의 코팅횟수에 따른 구조적 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2009 .11
PZT 액추에이터를 이용한 로터계 동기진동의 강인제어 ( Robust Control of Synchronous Vibration of a Rotor System with PZT Actuator )
대한기계학회 논문집 A권
2002 .04
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