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한국기계가공학회 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 한국기계가공학회 2008년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2008.5
수록면
334 - 337 (4page)

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Currently, piezoelectric actuators which have attractive features such as high output force, high positioning resolution, high stiffness and quick response have been used in many ultra precision stages. An amplifier is needed for PZT to move minutely. This paper presents a nano PZT amplifier which can control motion of PZT stage minutely. New designed amplifier has benefit that is high response, low noise level, and low cost. We designed circuit of amplifier and investigated the characteristics of the PZT amplifier.
#Piezoelectric Actuator(압전소자) #Amplifier(증폭기) #Motion Control(이송제어) #Ultra Precision Stage(초정밀 이송계)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 초정밀 이송용 PZT Amplifier 특성
3. 실험장치 및 조건
4. 결과 및 고찰
5. 결론
후기
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