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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2003년도 생산 및 설계공학 부문 추계학술대회 논문집
발행연도
2003.11
수록면
42 - 46 (5page)

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We present that two-dimensional periodic nano-patterns can be embossed on a polymer thin film using the nano-imprint process. The silicon masters with triangular arrays of rods such as square, hexagon, dodecagon and circle were successfully fabricated using the e-beam lithography and inductively coupled plasma etching. We also show that the polymer thin films with two-dimensional periodic patterns, polymer photonic crystals, can exhibit electromagnetic stop bands and the line defects introduced in the periodic patterns can serve as low loss waveguides from the photonic band calculations and the finite difference time domain simulations.
#Nano-imprint lithography(나노 임프린트 리소그래피) #hot embossing(고온 엠보싱) #photonic crystal(광결정) #photonic band gap(광자띠간격) #waveguide(도파로)

목차

Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
감사의 글
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