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저자정보
임형준 (한국기계연구원) 이재종 (한국기계연구원) 최기봉 (한국기계연구원) 김기홍 (한국기계연구원) 정미라 (한국기계연구원) 김하나 (과학기술연합대학원대학교) 박수연 (과학기술연합대학원대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2010년도 춘계학술대회 논문집(상)
발행연도
2010.5
수록면
493 - 494 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2011

다층 나노임프린트 리소그래피를 위한 스탬프와 기판의 각도보상 메커니즘
임형준 ,  이재종 ,  최기봉 외 1명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2011.10 학술대회자료
유연기판을 위한 나노임프린트리소그래피 시스템 설계
임형준 ,  이재종 ,  최기봉 외 2명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2011.04 학술저널

2010

유연기판의 나노임프린트리소그래피를 위한 가압 메커니즘 설계
임형준 ,  이재종 ,  최기봉 외 4명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2010.05 학술대회자료

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#Nanoimprint Lithography #NIL #Flexible Substrate #Pressing Mechanism

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조영태 ,  정윤교 한국기계가공학회지 2013 .02
나노임프린트 공정기술 산업화 동향
정준호 미세가공 심포지엄 2012 .11
나노임프린트를 통한 나노 구조체 제작 및 응용
송희 ,  정희수 ,  박유신 외 1명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2012 .04
대면적 고생산성 나노임프린트 리소그래피
정준호 ,  김기돈 ,  최대근 외 6명 전기의세계 2007 .10
CAE를 이용한 나노 임프린트 스테이지의 동적 거동해석
이강욱 ,  이민규 ,  이재우 외 5명 한국생산제조학회지 2007 .10

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