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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.5
- 수록면
- 125 - 128 (4page)
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In order to develop electrochemical deposition machine, we investigated the effects of some key design factors on the electrochemical deposition process, for example, current density, electrode agitating and electrochemical solution circulation. Deposition rate is increased with the current density and circulation. Thickness uniformity shows rather complex behavior, that is, it is improved with slow circulation at 0.03 A/㎠ current density while at 0.04 A/㎠, faster circulation shows better thickness uniformity.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 토의
4. 결론
후기
참고문헌
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