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이병욱 (순천향대학교) 홍진수 (순천향대학교) 김창교 (순천향대학교)
저널정보
제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 논문지 제어로봇시스템학회 논문지 제14권 제5호
발행연도
2008.5
수록면
420 - 425 (6page)

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PMMA light guiding plate with nano-sized pattern was fabricated using anodized aluminum oxide membrane as a template for nano imprint lithography. Nano-sized pore arrays were prepared by the self-organization processes of the anodic oxidation using the aluminum plate with 99.999% purity. Since the aluminum plate has a rough surface, the aluminum plate with thickness of 1mm was anodized after the pre-treatments of chemical polishing, and electrochemical polishing. The surface morphology of the alumina obtained by the first anodization process was controlled by the concentration of electrochemical solution during the first anodization. The surface morphology of the alumina was also changed according to temperature of the solution during chemical polishing performed after first anodization. The pore widening process was employed for obtaining the one-channel with flat surface and height of the channel because the pores of the alumina membrane prepared by the fixed voltage method shows the structure of two-channel with rough surface. It is shown from SPM results that the nano-sized pattern on PMMA light guiding plate fabricated by nano imprint lithography method was well transferred from that of anodized aluminum oxide template.
#PMMA #nano pattern #AAO template #nano imprint lithography #light guiding plate

목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
참고문헌

참고문헌 (11)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - T. W. Ebbesen / 1998 / Nature 391 : 667 ~ 668 google schola 2. [단행본] - P. Theodoni / / Efficient Infrared Emission from Periodically Patterned Thin Metal Films on a Si Photonic Crystal / Microelectronic Engineering, to be published google schola 3. [기타자료] - 홍진수 / 2007 / 면광원용 도광판, 대한민국 특허 출원번호 10-2007-61507 google schola 4. [기타자료] - 홍진수 / 2007 / 도광판 및 그 제조방법, 대한민국 특허 출원번호 10-2007-61506 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - 한성호 / 1989 / 알루미늄의 양극산화 피막 형성의 이론과 응용 / 대한금속학회지 2 (2) : 102 ~ google schola

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