피니싱 장비의 스캔 장치 특성 실험

임선종

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .05

Density Functional Theory Studies of Oxygen Affinity of Small Au Nanoparticles

Ha ,  Hyunwoo ,  Shin 외 3명

한국재료학회지

2017 .01

Etching Characteristics of Au Thin Films using Inductively Coupled Cf4/Cl2/Ar Plasma

Chang-IlKim ,  Dong-PyoKim

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2003 .01

마그네틱 전자빔 스캔 장치의 출력 특성

임선종 ,  최지연

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .05

집속이온빔의 공정조건이 실리콘 가공에 미치는 영향

김준현 ,  송춘삼 ,  김주현 외 2명

한국생산제조학회지

2007 .04

집속 이온빔을 이용한 Au 밀링 가공 특성

박진주 ,  김성동

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2007 .05

전류 밀도 측정을 위한 스캔 장치 설계

임선종

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

Dry Etching of Au Films Using CF4 and O2 Plasma

이종수 ,  권영세

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

집속 이온빔 가공변수에 따른 Au 에칭 특성 연구

박진주 ,  김성동

한국생산제조학회지

2007 .10

적정 집속이온빔 (FIB) 이온 Dose 와 KOH Etching 을 이용한 나노구조의 제작

장기환 ,  김충수 ,  이현택 외 2명

한국CDE학회 학술발표회 논문집

2014 .02

P-type GaN 위에 형성된 Pd/Au, Pt/Au 전극에서 Au overlayer층이 열적 안정화에 미치는 영향

조유화 ,  김종규 ,  이종람 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Au/PI/Au구조의 유기박막 절연성에 관한 연구

전동규 ,  김영근 ,  조제황 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .07

Au-Ni 및 Au-Co 합금도금피막의 내마모성에 관한 연구

한범석 ,  홍성제 ,  장현구

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1993 .05

Principles and Applications of Raster-Scan Graphics

정원량

대한전자공학회 학술대회

1979 .01

PRINCIPLES AND APPLICATIONS OF RASTER-SCAN GRAPHICS

정원량

대한전기학회 학술대회 논문집

1979 .08

전자현미경 제어기의 스캔드라이버의 성능향상 방안

김동환 ,  김승재 ,  박만진 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2008 .06

Study of CD Variation as Related to Raster Scan E-Beam Writing System

김병국 ,  임성출 ,  최성운 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

집속이온빔을 이용한 나노가공시스템 개발

박철우 ,  이종항 ,  최진형 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2006 .05

Line Scanning Performance 향상에 관한 연구

송우섭 ,  이승우 ,  이정률

한국통신학회 학술대회논문집

1994 .07

집속 이온빔 (FIB) 기술 및 응용

이종현 ,  배남진 ,  강봉구 외 1명

[ETRI] 전자통신동향분석

1987 .09