집속 이온빔 가공변수에 따른 Au 에칭 특성 연구

박진주; 김성동

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자료유형: 학술저널

저자정보: 박진주 김성동

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국공작기계학회 논문집 Vol.16 No.5

발행연도: 2007.10

수록면: 129 - 133 (5page)

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2008

스캔 방식에 따른 Au 집속이온빔 가공

박진주 , 김성동 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008.06 학술대회자료

2007

집속 이온빔 가공변수에 따른 Au 에칭 특성 연구

박진주 , 김성동 한국생산제조학회지 2007.10 학술저널

집속 이온빔을 이용한 Au 밀링 가공 특성

박진주 , 김성동 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2007.05 학술대회자료

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Focused Ion Beam(FIB) systems is a useful tool for the fabrication of micro-nano scale structures. In this study, the effects of FIB etching on the Au microstructure are systematically investigated. As the fabrication parameters, ion dose, dwell time and beam overlap ratio are studied. First, the increases of Ga ion dose makes the milling yield higher and the sidewall of milling profile steeper. Dwell time is found to have little effects on the milling profile due to the relatively large milling area of 1 × 1㎛² used in this study. However, beam overlap significantly affects not only milling rate but also milling profile. As the beam overlap ratio changes from positive to negative, the development of regular cross-stripe patterns at the bottom with low milling rate is observed.

#Micro-nano fabrication technique(마이크로-나노 가공기술) #FIB(집속이온빔) #Lithography(리소그래피) #Milling(밀링) #Au(금) #Milling yield(밀링수율) #Dwell Time(드웰타임) #OverLap(오버랩)

참고문헌 (9)

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1. [학술대회논문] - Park, C. W. / 2005 / Design and Manufacturing of Focused Ion Beam Machining System / Korea Society of Tool, Engineers spring meeting : 30 ~ 34

2. [학술지(정기간행물)] - Nakayama, M. / 1999 / Focused Ion Beam Process for Formation of a Metal/Insulator/Metal Double Tunnel Junction / Jpn. J. Appl. Phys. Part1 38 : 7151 ~

3. [학술지(정기간행물)] - Chappert, C. / 1998 / Planar Patterned Magnetic Media Obtained by Ion Irradiation / Science 280 : 1919 ~

4. [학술지(정기간행물)] - Kaminsky, W. M. / 2001 / Patterning ferromagnetism in Ni80Fe20 films via Ga+ ion irradiation / Appl. Phys. Lett 78 : 1589 ~

5. [학술지(정기간행물)] - Li, J. / 2006 / Recent advances in FIB–TEM specimen preparation techniques / Materials Characterization 57 : 64 ~ 70

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