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CF4/Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성
전기전자재료학회논문지
2003 .01
Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성
전기전자재료학회논문지
2002 .01
Ar/CF4/Cl2 플라즈마에 의한 CeO2 박막의 식각 특성 연구
전기전자재료학회논문지
2002 .01
Dry Etching of Au Films Using CF4 and O2 Plasma
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
Cl2/Ar 플라즈마를 이용한 Al2O3 박막의 식각
전기전자재료학회논문지
2009 .01
Dry Etching Characteristics of ZnO Thin Films for the Optoelectronic Device by Using Inductively Coupled Plasma
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2012 .01
The Use of Inductively Coupled CF4/Ar Plasma to Improve the Etch Rate of ZrO2 Thin Films
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2013 .01
Etching Characteristics of YMnO3 Thin Films in Cl Based Industively Coupled Plasma
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2003 .01
Cl-based 플라즈마에 의한 YMnO3 박막의 식각 damage에 관한 연구
전기전자재료학회논문지
2003 .01
Metal 게이트 전극을 위한 TiN 박막의 건식 식각 특성
한국표면공학회지
2009 .08
Cl₂/Ar 혼합가스를 이용한 VO₂ 박막의 유도결합 플라즈마 식각
전기전자재료학회논문지
2008 .01
Cl2/CF4/Ar 유도결합 플라즈마에 의해 식각된 SBT 박막의 표면 손상
전기전자재료학회논문지
2002 .01
Cl2-Ar 혼합가스를 이용한 GST 박막의 유도결합 플라즈마 식각
전기전자재료학회논문지
2007 .01
Dry Etching of BST using Inductively Coupled Plasma
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2005 .01
The Dry Etching Properties of ZnO Thin Film in Cl2/BCl3/Ar Plasma
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2010 .01
CF₄/Cl₂/Ar 고밀도 플라즈마를 이용한 PZT 박막의 식각 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2001 .07
BCl₃/Ar 플라즈마에 Cl₂ 가스 첨가에 따른 TiN 박막의 식각 특성
전기전자재료학회논문지
2008 .01
Damage on the Surface of Zinc Oxide Thin Films Etched in Cl-based Gas Chemistry
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2011 .01
Dry Etching of ITO Thin Films by the Addition of Gases in Cl2/BCl3 Inductivity Coupled Plasma
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2012 .01
Surface Etching of TiO2 Thin Films Using High Density Cl2/Ar Plasma
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2015 .01
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