나노/마이크로 3차원 응용형상 제작을 위한 나노 스테레오 리소그래피 공정의 기술동향

양동열; 임태우; 손용

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자료유형: 학술저널

저자정보: 양동열 (한국과학기술원) 임태우 손용

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.26 No.8

발행연도: 2009.8

수록면: 35 - 46 (12page)

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#Nano-Stereolithography(나노 입체형상 제작공정) #Femtosecond Laser(펨토초 레이저) #Two-photon Absorption Phenomenon(이광자 흡수 현상). 3D Microstructures(3차원 마이크로 형상)

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