이광자 흡수 광조형 공정을 통한 3 차원 광구동 마이크로 구조물 제작

정유진; 임태우; 손용; 양동열; 이광섭

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저자정보: 정유진 임태우 손용 양동열 (한국과학기술원) 이광섭

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2009년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2009.10

수록면: 595 - 596 (2page)

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