CAE를 이용한 나노 임프린팅 스테이지의 진동 해석

이강욱 ,  이재우 ,  이성훈 외 3명

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2008 .04

유연성을 고려한 4축 나노임프린팅 스테이지의 동적 해석

박성빈 ,  정재일 ,  임홍재

대한기계학회 춘추학술대회

2008 .11

나노 임프린트 장비의 정밀도 확보를 위한 Z축 변위 해석

이성훈 ,  이용훈 ,  이강욱 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2008 .05

Analysis and Improvement of Dynamic Characteristics of 3-axis Nano Stage

Choong Kim ,  Kang-Nyung Lee ,  Dong-Ju Lee 외 7명

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2005 .05

CAE를 이용한 나노 임프린트 스테이지의 동적 거동해석

이강욱 ,  이민규 ,  이재우 외 5명

한국생산제조학회지

2007 .10

CAE를 이용한 나노 임프린트 스테이지의 동적 거동해석

이강욱 ,  이민규 ,  임홍재 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2007 .10

나노 임프린트 장비의 외란에 따른 변위 해석

이정석 ,  이성훈 ,  정재일 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2009 .05

지지방식의 차이에 따른 나노 임프린팅 스테이지의 진동 특성 비교

이성훈 ,  박성빈 ,  이강욱 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2008 .11

초정밀 스테이지용 능동 진동제어시스템 설계

이주훈 ,  이세한 ,  황돈하 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2004 .07

진동 실험을 바탕으로 한 등가 스테이지 모델링

이정석 ,  이성훈 ,  정재일 외 1명

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2009 .11

정밀 스테이지의 기구 동역학 해석

주재환 ,  임홍재 ,  장시열 외 1명

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2007 .03

진동 실험을 바탕으로 한 스테이지 모델링 개선

이정석 ,  정재일 ,  임홍재

대한기계학회 춘추학술대회

2010 .03

고속ㆍ고하중용 나노구동 스테이지의 개발

류성훈 ,  한창수 ,  최기봉

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2003 .10

Nano-Size Pattern Formation Using Imprinting Techniques

한승호 ,  배진우 ,  송기국

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2015 .04

Development of 3-axis Nano Stage for High Precision Positioning System

Hyoung Gil Choi ,  Moon Gu Lee ,  Suk-Won Lee 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2005 .11

최소차원 관측기를 이용한 평면 X-Y 스테이지의 나노 위치제어

김재열 ,  윤성운 ,  곽이구 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2003 .10

초진공용 2축 대변위 나노 스테이지 개발

강은구 ,  홍원표 ,  이석우 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .06

구조물의 유연성을 고려한 고정밀 스테이지의 동적 해석

이민규 ,  이재우 ,  임홍재 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2007 .05

에어베어링을 이용한 회전형 스테이지 설계에 관한 연구

윤덕원 ,  김진호 ,  신동익 외 3명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2007 .01

나노모터를 이용한 초정밀 스테이지 설계

최주란 ,  최성대 ,  김기만 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2015 .04